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                射頻電源匹配器一體機

                KVMEN?  AGM系列全固態射頻電源匹配器一體機,采用目前技術最穩定可靠的功放和直流模塊,從而使產品提供極其穩定的射頻功率輸出,產品更堅固耐用。

                內部集成匹配器模塊,采用目前最先進的數字式網絡匹配平臺,自動匹配器以快速、精確和可重復的方式,將等離子體的復阻抗與您期望的調諧范圍進行匹配。與傳統模擬調諧方法相比,數字調諧算法和步進電機驅動可產生更快速,更精準和高重復的響應,始終都保持與負載的阻抗點相契合。

                元器件質量高而數量少,使產品的可靠性和設備生命周期最大化。LCD顯示屏既全面又直觀的操作菜單,可在設備的控制面板上直接使用,提供獨一無二的易操作性,提高操作者效率,最小化培訓成本。

                性能參數

                AGM-1303

                功率輸出范圍

                5W-300W

                最大反射功率

                100W

                功率穩定度

                ±0.1%

                諧波分量

                -50dbc

                供電電壓

                單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ

                整機效率

                70%

                功率因素

                90%

                匹配器最大傳輸功率

                500w

                反射功率(最大功率時)

                <3w

                最大負荷電流

                30ARMS

                最大負荷電壓

                7500VRMS

                RF輸出連接器

                50 Ω, L29,或可定制

                匹配時間

                1~3s

                可匹配阻抗實部范圍

                0~80Ω

                可匹配阻抗虛部范圍

                200j~ 200j

                冷卻方式

                強制風冷

                整機重量

                19.5kg

                整機尺寸

                133 mm (H)×440 mm (W)×410 mm (D)


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