久久精品国产亚州AV无码四区|亚洲人成网站18禁止国产一区|国产人成网在线播放VA免费|日韩精久无码一区二区三区AV

    <address id="nl7bj"></address>
    <form id="nl7bj"><nobr id="nl7bj"><nobr id="nl7bj"></nobr></nobr></form>

    <form id="nl7bj"><span id="nl7bj"></span></form><form id="nl7bj"></form>

                歡迎來到中山市凱美電子有限公司!售前咨詢服務熱線:0760-85898373 13822768980

                產品展示

                聯系我們

                地址:廣東省中山市三鄉鎮鴉崗西邊嶺3號4樓

                聯系人:王衡

                電話:13822768980

                E-mail:kevin@kvmen.com

                產品中心您當前所在的位置:首頁>>產品中心>>氣體質量流量控制器

                氣體質量流量控制器


                WARWICK?系列氣體質量流量控制器(MFC)產品是經過實踐驗證的適合多種應用場合的標準產品,流量精準度及性價比高,先進的傳感器和閥控技術,經過實地應用驗證的平臺組件以及高速的模擬/數字線路帶來最精準的氣體流量控制,可以滿足客戶在數值和功能上對于MFC的不同要求。適用于半導體,平板顯示,數據存儲,真空工業,ICP光譜設備及太陽能晶硅制程等不同行業。

                規格

                MC-AN600

                MC-AN601

                MC-AN602

                MC-AN610

                MC-AN611

                量程范圍

                單氣體 2-5000SCCM

                單氣體 5-50SLM

                單氣體   30-200SLM

                單氣體2-5000SCCM

                單氣體  5-50SLM

                閥門類型

                常開式或常閉式螺線管

                接頭

                1/4VCR1/4Swagelok

                密封

                橡膠

                金屬

                響應時間

                到達設定點±2%所需時間≤1SEC

                3SEC

                到達設定點±2%所需時間≤1SEC

                精確性

                ≤滿量程1%

                ≤滿量程2%

                ≤滿量程1%

                線性度

                ≤滿量程±0.5%

                ≤滿量程±1%

                ≤滿量程±0.5%

                重復性

                ≤滿量程±0.2%

                壓差

                7-40PSI

                21-40PSI

                7-40PSI

                漏率

                MAX:1X10ˉ7PA.M3/SECHE

                MAX:1X10ˉ11PA.M3/SECHE

                控制范圍

                滿量程的2-100%

                最高操作壓力

                50PSI

                承受壓力

                最大值150PSI

                通訊模式

                模擬0-5V/4-20MA

                輸入電壓

                +15VDC ±2% at 50MA         -15VDC ±2% at 150MA

                控制信號

                0-5VDC/4-20MA

                輸出模擬信號

                0-5VDC/4-20MA

                功耗

                3.1W

                3.5W

                3.1W

                溫度范圍

                5-45°

                材料

                316LSS,316SS,PTFE,KM45

                重量

                0.9KG

                2.2KG

                1.0KG

                1.2KG

                 


                  <address id="nl7bj"></address>
                  <form id="nl7bj"><nobr id="nl7bj"><nobr id="nl7bj"></nobr></nobr></form>

                  <form id="nl7bj"><span id="nl7bj"></span></form><form id="nl7bj"></form>